图1 测控系统框图
图2 误差补偿原理图
图3 软件误差补偿流程图
Δmax=410µm,Δ'max=15µm 图4 补偿前后定位精度比较(v=300mm/min)
Δmax=400µm,Δ'max=15µm 图5 补偿前后定位精度比较(v=350mm/min)
Δmax=385µm,Δ'max=15µm 图6 补偿前后定位精度比较(v=400mm/min)
ΔL=0.5m,Δ'max=15µm 图7 误差补偿效果图
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